Industrias
Semiconductores
En herramientas de proceso y caracterización, una transferencia fiable depende de limpieza, geometría, orientación, carrera, repetibilidad y compatibilidad entre cámaras. El sistema se define desde la muestra y la secuencia completa, no desde un actuador aislado.
El sistema antes que la referencia
En herramientas de proceso y caracterización, una transferencia fiable depende de limpieza, geometría, orientación, carrera, repetibilidad y compatibilidad entre cámaras. El sistema se define desde la muestra y la secuencia completa, no desde un actuador aislado.
Datos que condicionan la selección
- Formato de oblea o muestra, portador y orientación
- Secuencia entre load lock, transferencia, proceso y análisis
- Nivel de vacío, contaminación admisible y materiales
- Automatización, sensores, enclavamientos y mantenimiento
Alcance de la recomendación
VPD relaciona tecnologías, componentes e interfaces a partir de requisitos documentados. La configuración final, sus prestaciones y el plan de aceptación se confirman para cada instalación.
Bricada
Transferencia UHV para muestras y obleas
Destacamos la gama autorizada de Bricada para brazos de transferencia, manipuladores magnéticos y sistemas de load lock. Recorrido, portador, interfaz y automatización se validan para cada herramienta.
VPD
Tecnologías clave para este sector
Abre cada ruta para revisar criterios, subsistemas y fabricantes relacionados.
Deposición de capa fina
Soluciones para evaporación, sputtering, PLD y recubrimientos de investigación o proceso.
Ver tecnología →Movimiento en vacío
Introducción de movimiento lineal, rotativo y multieje sin comprometer estanqueidad ni limpieza.
Ver tecnología →XPS y espectroscopía de superficies
Componentes e integración para preparar, posicionar y analizar muestras en UHV con geometría reproducible.
Ver tecnología →¿No encuentras la referencia o configuración exacta?
Envíanos la referencia y las condiciones de trabajo; revisaremos fabricantes, compatibilidad y alternativas.